O processo de Benchmarking tem, em geral, 5 fases: planejamento, coleta de dados, análise, adaptação e implementação. Mas a metodologia, mais detalhada, descrita por CAMP (1998) apresenta as seguintes etapas:

1. Identificar os marcos de referência
2. Identificar empresas comparativas
3. Definir método e coletar os dados
4. Determinar a lacuna de desempenho
5. Projetar níveis de desempenho futuro
6. Comunicar descoberta dos marcos de referência e obter aceitação
7. Estabelecer metas funcionais
8. Desenvolver plano de ação
9. Implementar ações específicas e monitorar progresso
10. Recalibrar marcos de referência